Hệ đo và phân tích bán dẫn Parameter Analyzer Keithley 4200A-SCS ( mainframe )
- Hệ tích hợp và tùy chỉnh phụ thuộc vào từng ứng dụng cụ thể.
- Phần mềm Clarius được tích hợp hàng trăm ứng dụng và dễ sử dụng.
- Có thể nâng cấp upgrade hệ đo dễ dàng.
- Màn hình cảm ứng điện dung 15.6 HD inch
- Nguồn nuôi: 100-240V AC, 50/60Hz
- Kích thước: 43.6 x 22.3 x 55.6 cm
- Kết nối ngoại vi: GPIB, USB, Ethernet, Audio, …
1. Module chức năng I-V Source Measure Units (SMUs)
- Tùy chọn loại module : ±210 V/100 mA hoặc ±210 V/1 A
- Độ phân giải: 100 fA
- Độ phân giải đến 10 aA khi thêm tùy chọn module khuyếch đại.
- Đo tần số: 10 mHz – 10 Hz
- Dung kháng tải: 100 µF
- Hệ trục tọa độ: 4 miền ( 4-quadrant operation )
- Kết nối: 2 hoặc 4 dây
2. Module chức năng C-V
- Đo điện dung AC ( C-V, C-f, C-t )
- Dải tần: 1Khz – 10Mhz
- Điện áp: ±30 V (60 V differential) built-in DC bias, expandable to ±210 V (420 V differential)
- Có thể tùy chọn bộ swiching để chuyển đổi đo giữa C-V hoặc I-V mà không cần thay đổi kết nối đến DUT ( vật liệu cần đo ) option là CVIV
3. Module đo xung tốc độ cao: Pulsed I-V Ultra-fast Pulse measurement (PMU)
- Hai kênh độc lập hoặc đồng bộ giữa source ( cấp ) và đo I-V
- 200Ms/s, 5ns Tốc độ lấy mẫu
- ±40V( 80Vp-p); ±800mA
- Chế độ bắt các dạng sóng tức thời.
- Phát các dạng xung tùy ý với độ phân giải 10ns
4. Module phát xung Pulse (PGU)
- Hai kênh phát V tốc độ cao
- ±40V( 80Vp-p); ±800mA
- Phát các xung tùy ý với độ phân giải 10ns
5. Module swith đa năng (Multi-Switch module) I-V/C-V ( CVIV )
- Dễ dàng chuyển đổi phép đo giữa I-V, C-V mà không cần phải đấu nối lại cáp, đầu đo, prober…
6. Module khuyếch đại (RPM)
- Mainframe: 4200A-SCS hoặc 4200A-SCS-ND (Không có màn hình cảm ứng)
- Tùy chọn các module sau: ( máy có thể gắn tối đa 09 module C-V, I-V)
- 4200-PA
- 4200-SMU
- 4201-SMU
- 4210-SMU
- 4211-SMU
- 4210-CVU
- 4225-PMU
- 4220-PGU
- 4225-RPM
- 4200A-CVIV